近日,由陜西有色天宏瑞科硅材料有限責任公司(以下簡稱 “天宏瑞科”)牽頭實施的陜西省科技廳科技計劃項目《硅烷西門子法電子級多晶硅》,順利通過專家組綜合績效評價與結題驗收。
本次驗收嚴格遵循省級科技項目管理相關規范,專家組通過項目專題匯報、資料審閱、現場核驗、質詢答辯相結合的方式,逐項核查技術指標、創新成果、經費執行及產業化落地情況。經過全面嚴謹評審,項目各項既定指標均圓滿完成,多項關鍵性能指標優于預期,成功攻克超高純高阻區熔多晶硅制備核心技術,相關工藝已完成產線規?;炞C與落地應用,切實打通科研成果產業化轉化通道。
高阻區熔多晶硅是高壓功率器件、特種集成電路、射頻半導體等高端元器件制造的核心基礎原材料,對產品純度、晶體完整度、雜質管控精度有著極高要求。長期以來,國內供應高度依賴進口,是制約我國半導體產業鏈自主可控的關鍵短板,國產化替代需求迫切。
項目實施期間,依托陜西省及企業技術中心省級研發平臺,天宏瑞科研發團隊聚力攻堅,先后突破硅烷超高純提純、高阻均勻區熔硅芯、超高阻大直徑區熔多晶硅棒國產化等多項關鍵技術,搭建起具備完全自主知識產權的區熔級電子多晶硅完整量產工藝體系。相關產品經權威機構檢測及下游企業量產驗證,各項性能穩定可靠,現已批量供應國內重點科研機構與產業化企業,有效填補國內高端區熔硅材料供給缺口,顯著提升我國硅基新材料核心競爭力與產業鏈供應鏈安全保障能力,實現國內電子級多晶硅國產化關鍵性跨越。
天宏瑞科始終堅持以科技創新為核心抓手,深耕高純晶硅材料賽道。本次項目順利驗收,是公司堅持新質生產力武裝全產業鏈,充分體現省屬國有企業在攻堅核心技術、筑牢產業鏈供應鏈安全的使命與擔當。
下一步,天宏瑞科將持續加碼研發投入,加快高新技術突破,迭代優化產品性能、拓寬高端市場渠道;聯動國內科研院所、行業龍頭共建研發體系,打造國內高端電子級硅基材料國產替代核心平臺,全面實現核心工藝百分百國產化自主可控,擺脫對海外技術依賴,成為全球高端硅基材料領域領軍企業。